D01MH工艺技术自2010年规模商用,是一款125nm的mHEMT工艺;OMMIC采用该工艺制备频率最高达90GHz的超低噪声放大器产品。
D01MH工艺技术已通过欧洲宇航局航天级认证,并被列入欧洲宇航局首选器件清单(EPPL)。
D01MH工艺射频/直流特性
l击穿电压:Vbgd=8V(典型值);
l开启电压:Vt=-0.9V;
l 截止频率:Ft=150GHz;
l最高频率:Fmax=250GHz;
l噪声系数:NFmin=0.8dB@30GHz;
l增益:11.5dB@30GHz;
l全局钝化处理
——外延电阻;
——镍铬电阻;
——MIM电容(400pf/mm2和49pf/mm2);
——螺旋电感;
——空气桥;
——通孔;
——微凸台;
——全局钝化芯片:覆盖150nm氮化硅;
——芯片标准厚度100μm(如果有特殊要求,70μm厚度可选);
——厚金属层可选,用于优化芯片噪声性能。